管道工程安装公司，管道项目安装公司，工业管道安装公司硅集成电路芯片厂房应满足光刻及测试设备的防微振要求。
6.1.2 硅集成电路芯片厂房的选址应对场地周围的振源进行充分的调查与评估。
6.1.3厂址选择除既有环境的振源外，管道工程安装公司，管道项目安装公司，工业管道安装公司尚应计及在未来可能产生的振源对拟建厂房的影响。
6.1.4 振动大的动力设备和运输工具等应远离对振动敏感的净化生产区域，动力厂房与生产厂房不宜贴近布置。
6.1.5 硅集成电路芯片厂房宜在下列阶段进行微振测试和评价：
1 在建设前，管道工程安装公司，管道项目安装公司，工业管道安装公司对场地素地进行测试和评价；
2 生产厂房结构体完工后，对于布置光刻及测试设备的区域进行测试；
3 生产厂房竣工时，对布置光刻及测试设备的区域进行测试。条文说明6.1.1集成电路芯片厂房的微振控制归根结底是在生产区楼面提供一个满足振动敏感设备安装要求的微振动环境，所以微振控制要求是由生产工艺及所选设备决定的。管道工程安装公司，管道项目安装公司，工业管道安装公司在集成电路芯片生产中，对微振有较高要求的通常为光刻设备以及扫描电子显微镜，其容许振动值的物理量表达通常有振幅（μm）、振动速度（mm/s）以及振动加速度（mm/s2），这三种物理量可以通过公式换算。在国际上通常以通用振动标准曲线VC进行定义，如图3所示。VC曲线是指一组表示在一定频率范围内振动幅值（用速度表征）的曲线，按振动速度从高到低依次为VC-A、VC-B…VC-G。有关VC曲线的定义、场地和楼面微振动的测试、数据采集、处理和报告，管道工程安装公司，管道项目安装公司，工业管道安装公司环境科学与技术协会（IEST）的有关标准（表2）。